자동차·반도체·유압 산업을 움직이는 한빛정밀의 정밀 부품
반도체 식각·증착 장비용 진공 챔버 플랜지. 실링면 경면 가공.
정전척(ESC) 하부 냉각 유로가 포함된 베이스 플레이트. 평탄도 10μm 이내.
웨이퍼 이송용 세라믹·금속 리프트 핀 및 홀더.
